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龍圖騰網獲悉江蘇科沛達半導體科技有限公司申請的專利一種節能環保型半導體晶片清洗裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114743902B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210548275.3，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種節能環保型半導體晶片清洗裝置是由朱春設計研發完成，并于2022-05-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種節能環保型半導體晶片清洗裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種節能環保型半導體晶片清洗裝置，包括：支撐底座、旋轉存放機構、清洗機構和升降調節機構；支撐底座上設有固定架；旋轉存放機構設于固定架與支撐底座之間，旋轉存放機構包括支撐圓板，支撐圓板上安裝有多個存放管，存放管上開鑿有多個均勻分布的孔洞；清洗機構設于支撐底座的上方，清洗機構包括升降筒，升降筒內設有多個與存放管相匹配的存液筒。本發明通過對半導體晶片清洗裝置相應機構的設置，減少清洗過程中需要消耗的各種清洗液，并且在清洗過程中將半導體晶片表面的有機物及氧化層均處理干凈，提高清洗效果，而且在晶片表面產生親水性，可避免再次發生金屬污染，從而提高半導體晶片的使用壽命。

本發明授權一種節能環保型半導體晶片清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種節能環保型半導體晶片清洗裝置，其特征在于，包括： 支撐底座（1），所述支撐底座（1）上設有固定架（101），所述固定架（101）上安裝有旋轉驅動裝置； 旋轉存放機構（2），設于所述固定架（101）與支撐底座（1）之間，所述旋轉存放機構（2）包括支撐圓板（201），所述支撐圓板（201）上安裝有多個存放管（202），所述存放管（202）上開鑿有多個均勻分布的孔洞（203）； 清洗機構（3），設于所述支撐底座（1）的上方，所述清洗機構（3）包括升降筒（301），所述升降筒（301）內設有多個與存放管（202）相匹配的存液筒（302），所述升降筒（301）的下方安裝有氣泵（303），所述氣泵（303）上連接有支撐氣管（304），所述支撐氣管（304）的另一端連接有分散管（305），所述分散管（305）上連接有多個輸送管（306），所述輸送管（306）的另一端貫穿升降筒（301）與存液筒（302）相連通設置，所述升降筒（301）上開鑿有多個排氣槽（307）； 升降調節機構（4），設于所述支撐圓板（201）與升降筒（301）之間，用于帶動升降筒（301）升高和降低，所述升降調節機構（4）包括調節氣缸（401），所述調節氣缸（401）上連接有活塞支撐桿（402），所述活塞支撐桿（402）的另一端連接有限位塊（403），所述升降筒（301）內設有固定連接塊（404），所述固定連接塊（404）與升降筒（301）固定連接，所述固定連接塊（404）內開鑿有限位凹槽，所述限位塊（403）設于所述限位凹槽內。

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