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          南京工業(yè)大學(xué)方志獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)

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          龍圖騰網(wǎng)獲悉南京工業(yè)大學(xué)申請(qǐng)的專(zhuān)利一種基于灰度轉(zhuǎn)化大尺度等離子體膜沉積均勻性評(píng)價(jià)方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115526899B 。

          龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為:202211202202.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G06T7/00;該發(fā)明授權(quán)一種基于灰度轉(zhuǎn)化大尺度等離子體膜沉積均勻性評(píng)價(jià)方法是由方志;儲(chǔ)金成;李方松;祝曦設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-09-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

          一種基于灰度轉(zhuǎn)化大尺度等離子體膜沉積均勻性評(píng)價(jià)方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明公開(kāi)了一種基于灰度轉(zhuǎn)化大尺度等離子體膜沉積均勻性評(píng)價(jià)方法,包括對(duì)拍攝圖片進(jìn)行灰度處理,再經(jīng)過(guò)軟件得到灰度二維數(shù)據(jù)矩陣,從0~255灰度依次劃分,生成多個(gè)灰度區(qū)間;基于灰度二維數(shù)據(jù)矩陣與灰度區(qū)間進(jìn)行包括占比率、連續(xù)性參數(shù)以及規(guī)則性參數(shù)進(jìn)行計(jì)算從而獲得對(duì)該薄膜沉淀效果的評(píng)價(jià);占比率即是指定灰度區(qū)間面積在樣片總灰度區(qū)間面積上的占比,連續(xù)性是對(duì)樣片圖進(jìn)行分割,分為多個(gè)橫軸與縱軸。每個(gè)橫軸或每個(gè)縱軸中符合設(shè)定灰度區(qū)間占比達(dá)到80%及以上認(rèn)為此列或行為連續(xù)的;規(guī)則性是要判斷符合灰度域所成圖像的邊緣位置方差是否超過(guò)標(biāo)準(zhǔn),來(lái)評(píng)價(jià)邊緣位置反應(yīng)的均勻性。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)薄膜沉淀效果的快速與定量評(píng)價(jià)。

          本發(fā)明授權(quán)一種基于灰度轉(zhuǎn)化大尺度等離子體膜沉積均勻性評(píng)價(jià)方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種基于灰度轉(zhuǎn)化大尺度等離子體膜沉積均勻性評(píng)價(jià)方法,其特征在于:包括以下步驟: 步驟一:對(duì)等離子體處理后的材料表面拍攝圖片,將圖片導(dǎo)入計(jì)算機(jī)后基于Matlab算法進(jìn)行灰度處理,得到材料表面薄膜沉積結(jié)果的灰度二維數(shù)據(jù)矩陣;所述灰度二維數(shù)據(jù)矩陣中的每個(gè)元素為其對(duì)應(yīng)區(qū)域的灰度值; 步驟二:對(duì)0-255的灰度的范圍進(jìn)行劃分,劃分為多個(gè)灰度區(qū)間; 步驟三:基于步驟一的薄膜灰度轉(zhuǎn)化后的灰度二維數(shù)據(jù)矩陣與步驟二生成的多個(gè)灰度區(qū)間,設(shè)定評(píng)價(jià)薄膜沉積效果與均勻性的多個(gè)定量參數(shù);所述定量參數(shù)包括占比率、連續(xù)性參數(shù)以及規(guī)則性參數(shù);所述占比率為預(yù)設(shè)的灰度區(qū)間的面積在待評(píng)價(jià)的樣片總面積上的占比;所述連續(xù)性為通過(guò)計(jì)算待評(píng)價(jià)的樣片的每個(gè)橫軸或每個(gè)縱軸中符合預(yù)設(shè)的灰度區(qū)間占比是否達(dá)到80%及以上,從而實(shí)現(xiàn)判斷此列或此行是否連續(xù);所述規(guī)則性參數(shù)為判斷符合預(yù)設(shè)的灰度區(qū)間所成圖像的邊緣位置方差是否超過(guò)預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn),從而實(shí)現(xiàn)評(píng)價(jià)生成薄膜的邊緣位置反應(yīng)的均勻性; 步驟四:計(jì)算出待評(píng)價(jià)的樣片的定量參數(shù),并根據(jù)計(jì)算出的定量參數(shù)值對(duì)薄膜沉積效果與均勻性進(jìn)行評(píng)估。

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