大連理工大學王嫣然獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉大連理工大學申請的專利一種微泵及其制作方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116677589B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310614261.1,技術領域涉及:F04B43/04;該發明授權一種微泵及其制作方法是由王嫣然;薛春東;趙家銘;殷一帆;覃開蓉設計研發完成,并于2023-05-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種微泵及其制作方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種微泵及其制作方法。該微泵包括泵體和外圍電源系統。所述泵體包括泵體上蓋和泵體下蓋;泵體上蓋包括芯片封裝層、彈性膜、彈性膜驅動塞、磁場發生線圈等內部結構,各部分通過一體化加工方法集成在泵體上蓋上;所述泵體下蓋是帶有內凹微通道結構的全PDMS一體化模塊;泵體上下蓋通過鍵合固定;電源系統用以產生電信號,驅動微泵執行器部分。該微泵組件少、結構簡單、由全PDMS材料覆蓋,可以解決目前片上微泵結構復雜、組裝困難、氣密性差、耐用性差、難以與其他芯片集成等問題。
本發明授權一種微泵及其制作方法在權利要求書中公布了:1.一種微泵,其特征在于,所述的微泵由泵體和外圍電源系統組成,所述的泵體由泵體上蓋與泵體下蓋組成; 所述的泵體上蓋是表面全部被PDMS材料覆蓋的一體化組件,包括芯片封裝層、彈性膜、彈性膜驅動塞、驅動塞運動腔和磁場發生線圈;其中,芯片封裝層的中心設有豎向的圓柱形通孔作為驅動塞運動腔,彈性膜覆蓋在通孔下表面,彈性膜下表面與芯片封裝層的下表面平齊,二者之間無縫隙,泵體上蓋下表面是一體化平面;磁場發生線圈由中心帶通孔的圓柱形鐵芯與線圈組成,線圈纏繞在圓柱形鐵芯上,磁場發生線圈整體內嵌入芯片封裝層中,且圓柱形鐵芯的通孔與驅動塞運動腔重合;彈性膜驅動塞為圓柱體結構,位于驅動塞運動腔內,置于彈性膜的上表面,彈性膜與彈性膜驅動塞之間通過PDMS材料之間的離子鍵固定為一體;芯片封裝層上對稱設有兩個豎向的微流孔,位于中心的圓柱形通孔兩側,微流孔的頂端連接導流管,分別用于液體的進入和導出; 所述的外圍電源系統與磁場發生線圈的線圈連接,對磁場發生線圈供電產生變化的磁場; 所述的泵體下蓋是帶有內凹微通道結構的全PDMS一體化模塊,其中內凹微通道結構包括微腔室、進液腔、出液腔、入口通道和出口通道;微腔室、進液腔和出液腔為頂部開口結構;泵體下蓋和泵體上蓋合為一體時,泵體下蓋的上表面和泵體上蓋的下表面通過PDMS材料之間的離子鍵固定為一體,微腔室頂部開口與彈性膜的下表面相對應,形成一個完整的腔室,進液腔和出液腔分別與兩個微流孔的底端相對應并連通;進液腔和出液腔與微腔室之間分別通過入口通道和出口通道實現連通。
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