中國科學院長春光學精密機械與物理研究所張巖獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利一種液冷碳化硅反射鏡結構獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117310928B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202311266151.7,技術領域涉及:G02B7/18;該發明授權一種液冷碳化硅反射鏡結構是由張巖;王建立;陳寶剛;劉杰;范文強;王洪浩設計研發完成,并于2023-09-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種液冷碳化硅反射鏡結構在說明書摘要公布了:一種液冷碳化硅反射鏡結構,屬于碳化硅反射鏡技術領域。解決了現有技術中,高功率激光應用情況下,反射鏡溫度迅速升高,且熱變形較大的技術問題。本發明的液冷碳化硅反射鏡結構,包括碳化硅基體、出口插頭、腔體密封板、入口密封板、入口插頭、出口密封板和冷卻液。該反射鏡的鏡體采用碳化硅材料,并在背面設有液冷通道,在高功率激光輻照的情況下,基于碳化硅材料的高導熱性,將鏡面熱量迅速傳導至背面,進而通過冷卻液的高粘熱性帶走熱量,因此能夠抑制鏡面的溫升,減小鏡體的溫度梯度,從而保證反射鏡能維持較高的面形精度,且該反射鏡結構緊湊可靠,冷卻效率高,尤其適用于高功率高斯激光的光學系統中。
本發明授權一種液冷碳化硅反射鏡結構在權利要求書中公布了:1.一種液冷碳化硅反射鏡結構,其特征在于,包括碳化硅基體1、出口插頭2、腔體密封板3、入口密封板4、入口插頭5、出口密封板6和冷卻液7; 所述碳化硅基體1由鏡體1-1和背板1-2組成,鏡體1-1的背面為輕量化腔結構,輕量化腔結構為圓環放射型結構,由從內至外依次設置的N個圓環形筋板組成,N≥3,且其中有P個圓環形筋板上分別獨立的設有若干個通孔,PN,相鄰的兩個圓環形筋板之間分別獨立的固定有M個立筋板,將相鄰的兩個圓環形筋板之間分別獨立的分割出M個扇形腔,M≥3,且其中有Q個立筋板上設有通孔,QM;圓環形筋板上的通孔和立筋板上的通孔構成一路或多路冷卻液流通路徑;背板1-2密封固定在鏡體1-1的背面,外表面上開有中心通孔和若干個連接孔,中心通孔與最內層的圓環形筋板的頂端開口的內壁對齊,每個扇形腔與一個連接孔連通; 所述最內層的圓環形筋板上開有圓環形臺階結構,入口密封板4為圓盤形,且與圓環形臺階結構配合,密封安裝在圓環形臺階結構上,形成密封的中心腔體,且入口密封板4的頂面所在高度低于最內層的圓環形筋板的頂面所在高度,入口密封板4上開有入口插頭安裝孔; 所述入口插頭5密封固定在入口插頭安裝孔上; 所述出口密封板6為一個或多個,密封在每路冷卻液流通路徑末端的扇形腔的連接孔上,出口密封板6上開有出口插頭安裝孔; 所述出口插頭2的個數與出口密封板6的個數相等,每個出口插頭2安裝在一個出口插頭安裝孔上; 剩余的與通孔連通的扇形腔上的連接孔均以腔體密封板3密封; 所述冷卻液7經入口插頭5進入中心腔體,通過通孔在扇形腔中流動,最后經出口插頭2流出。
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