濟南量子技術研究院;合肥國家實驗室孫瀟瑩獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉濟南量子技術研究院;合肥國家實驗室申請的專利一種實時監測樣品溫度的壓環裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223292628U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422752454.6，技術領域涉及：C23C14/50；該實用新型一種實時監測樣品溫度的壓環裝置是由孫瀟瑩;宿非凡;鄧輝;嚴凱;張海斌;秦文斌;張富榮;燕軍祥;郭旭續;任家碩設計研發完成，并于2024-11-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種實時監測樣品溫度的壓環裝置在說明書摘要公布了：本實用新型涉及一種實時監測樣品溫度的壓環裝置，包括承載臺，承載臺上端設有用于夾持基片的環向夾持結構，所述承載臺為中空柱狀結構，內部具有上下貫通的空腔，承載臺的內部設有用于實時監測基片溫度的熱成像攝像頭，所述熱成像攝像頭配置有外接主機，所述熱成像攝像頭的拍攝端朝向承載臺延伸，熱成像攝像頭的拍攝中心與環向夾持結構的軸線一致。樣品溫度和表面缺陷便于觀察，可進一步提高工藝把控能力，從而提高成品率。
本實用新型一種實時監測樣品溫度的壓環裝置在權利要求書中公布了：1.實時監測樣品溫度的壓環裝置，包括承載臺，承載臺上端設有用于夾持基片的環向夾持結構，其特征在于，所述承載臺為中空柱狀結構，內部具有上下貫通的空腔，承載臺的內部設有用于實時監測基片溫度的熱成像攝像頭，所述熱成像攝像頭配置有外接主機，所述熱成像攝像頭的拍攝端朝向承載臺延伸，熱成像攝像頭的拍攝中心與環向夾持結構的軸線一致。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人濟南量子技術研究院;合肥國家實驗室，其通訊地址為：250101 山東省濟南市高新區舜華路747號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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