深圳市道格特科技有限公司劉志廣獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市道格特科技有限公司申請的專利一種用于機臺狀態檢驗的多區域可替換組合探針卡獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120254358B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510758346.6，技術領域涉及：G01R1/073；該發明授權一種用于機臺狀態檢驗的多區域可替換組合探針卡是由劉志廣;張華;劉久源設計研發完成，并于2025-06-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于機臺狀態檢驗的多區域可替換組合探針卡在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體測試技術領域，公開了一種用于機臺狀態檢驗的多區域可替換組合探針卡，包括：圓盤，所述圓盤表面設置有晶圓面，所述晶圓面表面設置有模塊化MLC結構，所述模塊化MLC結構由多個獨立的小塊MLC均勻分布于300mm晶圓面尺寸的圓盤范圍內，多個所述小塊MLC通過與導電路徑固定連接集成于PCB，多個探針。通過將傳統整塊陶瓷MLC替換為多個獨立的小塊MLC，這使探針卡能靈活適配不同尺寸和數量的DUTs，應對多樣測試需求，同時，小塊MLC制造簡單，材料損耗減少，制造成本降低，減少原材料浪費，顯著降低制造成本，單個MLC損壞時可獨立更換，避免整卡報廢，解決傳統設計在靈活性和成本控制上的局限。
本發明授權一種用于機臺狀態檢驗的多區域可替換組合探針卡在權利要求書中公布了：1.一種用于機臺狀態檢驗的多區域可替換組合探針卡，其特征在于，包括： 圓盤（5），所述圓盤（5）表面設置有晶圓面（6），所述晶圓面（6）表面設置有模塊化MLC結構，所述模塊化MLC結構由多個獨立的小塊MLC（1）均勻分布于300mm晶圓面（6）尺寸的圓盤（5）范圍內，多個所述小塊MLC（1）通過與導電路徑固定連接集成于PCB（2）； 多個探針（3），多個所述探針（3）均位于小塊MLC（1）表面，所述探針（3）針尖設置有反光面（31），所述反光面（31）用于光學平坦度測量，同時通過物理接觸鋁晶圓實現電性測試，所述探針（3）通過導電路徑連接至PCB的測試機接口POGO點； 溫度探頭（4），所述溫度探頭（4）分布于探針卡邊緣區域，測量精度為±0.1℃，用于實時監測測試環境溫度； 信號傳輸模塊，所述信號傳輸模塊用于信號傳輸，信號傳輸阻抗≤0.1Ω。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市道格特科技有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市龍華區龍華街道清湖社區清湖村寶能科技園12棟1層B座裙樓(一照多址企業)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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