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龍圖騰網獲悉季華實驗室申請的專利一種外延生長系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120330883B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510826656.7，技術領域涉及：C30B25/16；該發明授權一種外延生長系統及方法是由盛飛龍;郭嘉杰;伍三忠;王鑫;徐俊;劉欣設計研發完成，并于2025-06-19向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種外延生長系統及方法在說明書摘要公布了：本申請涉及外延生長技術領域，具體提供了一種外延生長系統及方法，該系統包括：上半月石墨腔體；下半月石墨腔體；載盤；第一溫度測量組件；反應氣體進氣組件；多個排氣組件；控制器，用于在外延生長過程中，根據實際溫度信息和預設的目標溫度分析是否存在溫度異常的測溫區域，還用于在存在溫度異常的測溫區域時，根據實際溫度信息和目標溫度的偏差值獲取進氣調節量，然后根據進氣調節量調節該溫度異常的測溫區域對應的進氣單元的進氣量，并根據溫度異常的測溫區域與各個排氣組件的最小距離調節各個排氣組件的排氣比例；該系統能夠在反應腔內的氣體流場均勻性不受影響的情況下使反應腔內的溫場分布均勻。

本發明授權一種外延生長系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種外延生長系統，其特征在于，所述外延生長系統包括： 上半月石墨腔體； 下半月石墨腔體，與所述上半月石墨腔體組成反應腔，所述反應腔被水平劃分成多個測溫區域； 載盤，位于所述反應腔內，用于承載外延片； 第一溫度測量組件，設置在所述反應腔外，用于測量各個所述測溫區域對應的實際溫度信息； 反應氣體進氣組件，設置在所述上半月石墨腔體上，其包括多個進氣單元，每個所述測溫區域均對應于至少一個豎直向下出氣的進氣單元； 多個排氣組件，對稱設置在所述反應腔兩側； 控制器，用于在外延生長過程中，控制所述反應氣體進氣組件向所述反應腔供應反應氣體和控制所有所述排氣組件同步排氣，并根據所述實際溫度信息和預設的目標溫度分析是否存在溫度異常的測溫區域，還用于在存在溫度異常的測溫區域時，根據所述實際溫度信息和所述目標溫度的偏差值獲取進氣調節量，然后根據所述進氣調節量調節該溫度異常的測溫區域對應的進氣單元的進氣量，并根據溫度異常的測溫區域與各個所述排氣組件的最小距離調節各個所述排氣組件的排氣比例。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人季華實驗室，其通訊地址為：528200 廣東省佛山市南海區桂城街道環島南路28號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。