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龍圖騰網獲悉蘇州智程半導體科技股份有限公司申請的專利一種半導體晶圓清洗裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120394457B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510914898.1，技術領域涉及：B08B3/12；該發明授權一種半導體晶圓清洗裝置是由華斌;趙天翔;丁宏程設計研發完成，并于2025-07-03向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體晶圓清洗裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及晶圓片清洗技術領域，尤其是一種半導體晶圓清洗裝置，包括超聲波清洗機，還包括：安裝板，安裝板設置在超聲波清洗機的上方，多個弧形條，多個弧形條沿周向設置在安裝板的一側，弧形條上連接有聚攏組件，弧形條的凹面側均設置有多個限位輥，噴氣組件，噴氣組件設置在弧形條的凹面側，噴氣組件用于對限位輥和半導體晶圓的側邊接觸位置噴氣除塵；本發明通過噴氣組件對限位輥和半導體晶圓的側邊接觸位置進行噴氣除塵，使得限位輥和半導體晶圓的側邊接觸位置之間不存在污染物，防止污染物的存在造成半導體晶圓的側邊處產生劃痕損傷。

本發明授權一種半導體晶圓清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種半導體晶圓清洗裝置，包括超聲波清洗機（100），其特征在于，還包括： 安裝板（200），安裝板（200）設置在超聲波清洗機（100）的上方，安裝板（200）上連接有升降組件（300），升降組件（300）用于驅動安裝板（200）進行垂直方向的升降移動； 多個弧形條（400），多個弧形條（400）沿周向設置在安裝板（200）的一側，弧形條（400）上連接有聚攏組件（500），弧形條（400）的凹面側均設置有多個限位輥（600），限位輥（600）上連接有旋轉組件（700），當聚攏組件（500）驅動弧形條（400）向安裝板（200）的中心處聚攏后，限位輥（600）與半導體晶圓的側邊接觸限位，旋轉組件（700）用于驅動多個限位輥（600）同向轉動； 噴氣組件（800），噴氣組件（800）設置在弧形條（400）的凹面側，噴氣組件（800）用于對限位輥（600）和半導體晶圓的側邊接觸位置噴氣除塵； 導液組件（900），導液組件（900）設置在安裝板（200）上，當半導體晶圓進行單向轉動時，導液組件（900）用于對半導體晶圓側邊處進行反向的清洗液引流； 旋轉組件（700）包括： 多個單通套管（710），多個單通套管（710）分別轉動連接在對應的限位輥（600）內部，單通套管（710）均固定連接在對應的弧形條（400）上； 限位輥（600）的一側均設置有刮板（610），刮板（610）的頂部滑動連接有連接條（611），連接條（611）固定連接在對應的弧形條（400）上，刮板（610）的一側固定連接有圓形桿（612），安裝板（200）上固定連接有多個引導框架（613），引導框架（613）上開設有引導槽（614），圓形桿（612）的一端位于對應的引導槽（614）內部，引導槽（614）包括垂直段（6141）和傾斜段（6142），當圓形桿（612）位于垂直段（6141）內部時，刮板（610）的刮料端位于限位輥（600）的一側； 導液組件（900）包括： 第二弧形管（910），第二弧形管（910）固定連接在安裝板（200）上，第二弧形管（910）上固定連通有多個出水管（911）； 液泵（920），液泵（920）固定安裝在安裝板（200）上，液泵（920）的出水端固定連通在第二弧形管（910）的一端上，當多個弧形條（400）處于聚攏狀態時，出水管（911）的一端與對應的單通套管（710）一端接觸連通，單通套管（710）上開設有第一出水槽（711），限位輥（600）上沿周向開設有多個第二出水槽（620）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州智程半導體科技股份有限公司，其通訊地址為：215312 江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮中華路889號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。