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龍圖騰網(wǎng)獲悉三星電子株式會社申請的專利裝載鎖模塊和包括其的半導(dǎo)體制造設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN110729224B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201910138038.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)裝載鎖模塊和包括其的半導(dǎo)體制造設(shè)備是由金光男;金秉熙;金正律;樸海重;宣鐘宇;吳相錄;鄭盛旭;趙南泳;洪定杓設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-02-25向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本裝載鎖模塊和包括其的半導(dǎo)體制造設(shè)備在說明書摘要公布了：本申請?zhí)峁┝搜b載鎖模塊和包括其的半導(dǎo)體制造設(shè)備。半導(dǎo)體制造設(shè)備包括：裝載鎖模塊，其包括其中容納襯底容器的裝載鎖室，其中裝載鎖模塊被構(gòu)造為在大氣壓強與真空之間切換裝載鎖室的內(nèi)部壓強；以及轉(zhuǎn)移模塊，其被構(gòu)造為在容納于裝載鎖室中的襯底容器與用于對襯底執(zhí)行半導(dǎo)體制造處理的處理模塊之間轉(zhuǎn)移襯底，其中，裝載鎖模塊包括：凈化氣體供應(yīng)單元，其被構(gòu)造為通過連接至襯底容器的氣體供應(yīng)線路將凈化氣體供應(yīng)至襯底容器中；以及排放單元，其被構(gòu)造為通過連接至襯底容器的排氣線路排放襯底容器中的氣體。

本發(fā)明授權(quán)裝載鎖模塊和包括其的半導(dǎo)體制造設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，包括： 裝載鎖模塊，其包括其中容納襯底容器的裝載鎖室，其中所述裝載鎖模塊被構(gòu)造為在大氣壓強與真空之間切換所述裝載鎖室的內(nèi)部壓強；以及 轉(zhuǎn)移模塊，其被構(gòu)造為在容納于所述裝載鎖室中的所述襯底容器與用于對襯底執(zhí)行半導(dǎo)體制造處理的處理模塊之間轉(zhuǎn)移襯底， 其中，所述裝載鎖模塊包括： 凈化氣體供應(yīng)單元，其被構(gòu)造為通過連接至所述襯底容器的氣體供應(yīng)線路將凈化氣體供應(yīng)至所述襯底容器中；以及 排放單元，其被構(gòu)造為通過連接至所述襯底容器的排氣線路排放所述襯底容器中的氣體， 其中，所述裝載鎖模塊還包括被構(gòu)造為支承所述襯底容器的臺板，并且 所述臺板包括放置所述襯底容器的板和以樞轉(zhuǎn)方式安裝在所述板上的鎖定桿， 其中，所述鎖定桿被構(gòu)造為在固定位置與釋放位置之間樞轉(zhuǎn)，在所述固定位置，所述鎖定桿與所述襯底容器的突起接合以固定所述襯底容器，在所述釋放位置，所述鎖定桿與所述襯底容器的所述突起分離以釋放所述襯底容器， 其中，所述板包括上板和位于所述上板下方的下板，其中所述上板與所述下板之間的距離是可調(diào)整的，并且 所述鎖定桿包括以樞轉(zhuǎn)方式安裝在所述下板上的第一連桿和以樞轉(zhuǎn)方式安裝在所述上板上的第二連桿，并且 其中，所述第一連桿被構(gòu)造為在調(diào)整所述上板與所述下板之間的距離的同時樞轉(zhuǎn)，并且所述第二連桿被構(gòu)造為在所述第一連桿樞轉(zhuǎn)的同時在所述固定位置與所述釋放位置之間樞轉(zhuǎn)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人三星電子株式會社，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。