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龍圖騰網(wǎng)獲悉奧羅拉太陽(yáng)能技術(shù)(加拿大)股份有限公司申請(qǐng)的專利表征半導(dǎo)體材料的系統(tǒng)和方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115176144B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080095503.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N21/25；該發(fā)明授權(quán)表征半導(dǎo)體材料的系統(tǒng)和方法是由H·戈達(dá)米;J·K·C·黃;G·德恩斯設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-12-04向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本表征半導(dǎo)體材料的系統(tǒng)和方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：用于半導(dǎo)體裝置的非接觸表征的系統(tǒng)和方法。系統(tǒng)可以包含：紅外輻射源，所述紅外輻射源將輻射朝向所述半導(dǎo)體裝置引導(dǎo)；輻射引導(dǎo)裝置，所述輻射引導(dǎo)裝置定位在所述紅外輻射源近側(cè)，所述輻射引導(dǎo)裝置用于將輻射朝向所述半導(dǎo)體裝置的相對(duì)側(cè)引導(dǎo)，所述半導(dǎo)體裝置可收納在所述輻射引導(dǎo)裝置與所述紅外輻射源之間；以及輻射檢測(cè)器，所述輻射檢測(cè)器位于所述紅外輻射源近側(cè)，所述輻射檢測(cè)器用于感測(cè)來(lái)自所述半導(dǎo)體裝置的與多個(gè)紅外波段相關(guān)聯(lián)的輻射，以確定所述半導(dǎo)體裝置的摻雜劑分布性質(zhì)。所感測(cè)輻射可以包含來(lái)源于所述紅外輻射源的從所述半導(dǎo)體裝置反射的輻射。所述所感測(cè)輻射可以包含來(lái)源于所述輻射引導(dǎo)裝置并從所述半導(dǎo)體裝置出射的輻射。所述摻雜劑分布性質(zhì)可以基于與所述多個(gè)相應(yīng)紅外波段相關(guān)聯(lián)的紅外反射率或紅外透射率。

本發(fā)明授權(quán)表征半導(dǎo)體材料的系統(tǒng)和方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于被測(cè)半導(dǎo)體裝置的非接觸表征的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括： 紅外輻射源，所述紅外輻射源將輻射朝向所述半導(dǎo)體裝置引導(dǎo)； 輻射引導(dǎo)裝置，所述輻射引導(dǎo)裝置定位在所述紅外輻射源近側(cè)并且被配置成將輻射朝向所述半導(dǎo)體裝置的相對(duì)側(cè)引導(dǎo)，所述半導(dǎo)體裝置能收納在所述輻射引導(dǎo)裝置與所述紅外輻射源之間；以及 輻射檢測(cè)器，所述輻射檢測(cè)器位于所述紅外輻射源近側(cè)并且被配置成感測(cè)來(lái)自所述半導(dǎo)體裝置的與多個(gè)紅外波段相關(guān)聯(lián)的輻射，以確定所述半導(dǎo)體裝置的摻雜劑分布性質(zhì)，所感測(cè)輻射包含來(lái)源于所述紅外輻射源的從所述半導(dǎo)體裝置反射的輻射，所述所感測(cè)輻射包含來(lái)源于所述輻射引導(dǎo)裝置并從所述半導(dǎo)體裝置出射的輻射， 其中，所述摻雜劑分布性質(zhì)基于與相應(yīng)的所述多個(gè)紅外波段相關(guān)聯(lián)的紅外反射率或紅外透射率中的至少一個(gè)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人奧羅拉太陽(yáng)能技術(shù)(加拿大)股份有限公司，其通訊地址為：加拿大不列顛哥倫比亞省；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。