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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利對(duì)準(zhǔn)方法和檢查裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115480078B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210567378.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01R1/04；該發(fā)明授權(quán)對(duì)準(zhǔn)方法和檢查裝置是由渡邊真二郎設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-05-24向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本對(duì)準(zhǔn)方法和檢查裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供能夠?qū)㈦姌O焊盤和探針以高精度進(jìn)行對(duì)位的對(duì)準(zhǔn)方法和檢查裝置。本發(fā)明的一個(gè)方式的對(duì)準(zhǔn)方法為包括與多個(gè)芯片對(duì)應(yīng)地設(shè)置的多個(gè)探針組的探針卡的對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于：包括第一模式，對(duì)所述多個(gè)芯片中的各個(gè)芯片，基于與所述芯片對(duì)應(yīng)地設(shè)置的所述探針組中包含的2個(gè)以上的探針的位置信息來(lái)計(jì)算該探針組的傾斜度和重心，基于計(jì)算出的所述多個(gè)探針組的傾斜度和重心來(lái)計(jì)算所述探針卡的傾斜度和重心。

本發(fā)明授權(quán)對(duì)準(zhǔn)方法和檢查裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種對(duì)準(zhǔn)方法，其為包括與多個(gè)芯片對(duì)應(yīng)地設(shè)置的多個(gè)探針組的探針卡的對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于： 包括下述的第一模式： 基于各探針組中包含的2個(gè)以上的探針的設(shè)計(jì)上的位置信息，來(lái)分別計(jì)算各探針組的設(shè)計(jì)上的傾斜度和各探針組的設(shè)計(jì)上的重心，基于計(jì)算出的所述各探針組的設(shè)計(jì)上的傾斜度和所述各探針組的設(shè)計(jì)上的重心，來(lái)計(jì)算探針卡的設(shè)計(jì)上的傾斜度和探針卡的設(shè)計(jì)上的重心， 基于各探針組中包含的2個(gè)以上的探針的測(cè)量上的位置信息，來(lái)分別計(jì)算各探針組的測(cè)量上的傾斜度和各探針組的測(cè)量上的重心，基于計(jì)算出的所述各探針組的測(cè)量上的傾斜度和所述各探針組的測(cè)量上的重心，來(lái)計(jì)算探針卡的測(cè)量上的傾斜度和探針卡的測(cè)量上的重心， 分別計(jì)算所述探針卡的測(cè)量上的傾斜度相對(duì)于所述探針卡的設(shè)計(jì)上的傾斜度的偏移量即傾斜度偏移量、和所述探針卡的測(cè)量上的重心相對(duì)于所述探針卡的設(shè)計(jì)上的重心的偏移量即重心偏移量。

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