杭州電子科技大學劉岑松獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州電子科技大學申請的專利一種考慮位錯影響的氮化鎵HEMT器件模型的建模方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN116151185B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202211240149.8,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G06F30/398;該發(fā)明授權(quán)一種考慮位錯影響的氮化鎵HEMT器件模型的建模方法是由劉岑松;汪潔;劉軍設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-10-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種考慮位錯影響的氮化鎵HEMT器件模型的建模方法在說明書摘要公布了:針對現(xiàn)有的器件模型沒有同時考慮位錯對漏極電流和柵極泄漏電流的影響、位錯對漏極電流影響的模型沒有動態(tài)模擬電荷的捕獲和釋放,以及柵極泄漏電流模型沒有充分考慮位錯的影響的問題,本發(fā)明公開一種考慮位錯影響的氮化鎵HEMT器件模型的建模方法。該建模方法包括:建立位錯對GaNHEMT漏極電流影響的模型;建立位錯對GaNHEMT柵極泄漏電流的影響的模型;將位錯對GaNHEMT漏極電流影響模型和位錯對GaNHEMT柵極泄漏電流影響模型整合到基于表面勢的模型中,得到考慮位錯影響的GaNHEMT器件模型并采用Verilog?A語言進行描述;給出考慮位錯影響的GaNHEMT器件模型的參數(shù)提取方法。
本發(fā)明授權(quán)一種考慮位錯影響的氮化鎵HEMT器件模型的建模方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種考慮位錯影響的氮化鎵HEMT器件模型的建模方法,其特征在于包括以下步驟: S1、建立位錯對GaNHEMT漏極電流影響模型; S2、建立位錯對GaNHEMT柵極泄漏電流影響模型; S3、結(jié)合GaNHEMT器件物理結(jié)構(gòu)和行為機理,將S1得到的位錯對GaNHEMT漏極電流影響模型和S2得到的位錯對GaNHEMT柵極泄漏電流影響模型,整合到基于表面勢的模型中,得到考慮位錯影響的GaNHEMT器件模型; S4、將步驟S3建立的考慮位錯影響的GaNHEMT器件模型,采用Verilog-A語言進行描述,使模型在EDA仿真工具中可編譯、鏈接入庫使用; S5、模型參數(shù)提取和模型驗證: S5-1、對實際GaNHEMT器件進行在片測試,獲得GaNHEMT器件的輸出特性曲線和柵極電流曲線,基于測試數(shù)據(jù)對模型實現(xiàn)參數(shù)提取; S5-2、考慮位錯影響的GaNHEMT器件模型驗證,給出測試與仿真的器件不同靜態(tài)偏置下的輸出特性曲線、柵極電流曲線對比; 所述步驟S1具體如下: S1-1、采用兩個帶有二極管的電阻-電容RC子電路來表征位錯引起的陷阱效應;每個RC子電路有兩個電阻,由二極管區(qū)分充電和放電路徑;柵極和漏極的輸入電壓通過子電路充放電,反饋產(chǎn)生的陷阱電壓Vg_trap和Vd_trap,更新截止電壓參數(shù)Voff、遷移率退化系數(shù)μa、DIBL效應參數(shù)Vdscale,表征陷阱效應;漏極電流通過表面勢模型計算: 其中μeff為有效遷移率,包含了垂直電場引起的遷移率下降,計算方式如下: Vgo代表有效柵極電壓與截止電壓的差值,考慮了DIBL效應,計算方式如下: 其中ψds=ψd-ψs,ψm=ψd+ψs2;W為柵寬,N為柵指,L為柵長,θsat為速度飽和效應參數(shù),λ為信道長度調(diào)制效應參數(shù);完整的Ids模型中包含了器件二階效應如DIBL效應、自熱效應和非線性接入?yún)^(qū)域電阻的精確建模,以表征真實的GaNHEMT器件; S1-2、通過不同靜態(tài)偏置電壓下的輸出特性曲線,找到隨靜態(tài)偏置電壓Vgsq和Vdsq變化的模型參數(shù),截止電壓參數(shù)Voff、遷移率退化系數(shù)μa和DIBL效應參數(shù)Vdscale,通過公式4對這些模型參數(shù)加入陷阱效應,實現(xiàn)了模型參數(shù)隨Vgsq和Vdsq變化的趨勢,完成位錯對GaNHEMT漏極電流影響模型; P=Pref+trP0·Vg_trap+trP1·Vd_trap4 其中P為添加陷阱效應后的參數(shù)值,Vg_trap和Vd_trap為陷阱網(wǎng)絡產(chǎn)生的陷阱電壓,Pref為當Vgsq、Vdsq等于0時的初始參數(shù)值,trP0、trP1為擬合參數(shù);所述步驟S2具體如下 S2-1、采用雙態(tài)普爾-弗蘭克Poole-Frenkel發(fā)射來模擬反向偏置下的柵極泄漏電流,充分考慮位錯對柵極泄漏電流的影響;GaNHEMT的柵極電流可以表示為: I=Area·JTE+JPF5 其中Area為柵極面積,JTE為熱離子發(fā)射TE電流密度,JPF為PF發(fā)射電流密度; PF電流密度JPF和電場E的關(guān)系表征如下: 其中C是一個陷阱濃度相關(guān)的參數(shù),E是金屬-半導體界面上AlGaN勢壘中的電場;Φdn為陷阱態(tài)電子發(fā)射的勢壘高度,其中Φd1=0.47eV,Φd2=1.07eV,ε0為自由空間的介電常數(shù),εs為高頻下的相對介電常數(shù),q為電子電荷,VT為閾值電壓;σp為勢壘中壓電極化電荷與勢壘與緩沖層中自發(fā)極化電荷之差之和,Cg為柵電容,為表面勢。
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