浙江芯暉裝備技術有限公司王云飛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江芯暉裝備技術有限公司申請的專利一種定位裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223284961U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422460139.6，技術領域涉及：H01L21/68；該實用新型一種定位裝置是由王云飛;張旭斌;張峰;盛湘遠設計研發完成，并于2024-10-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種定位裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種定位裝置，包括架體、放置組件、多組定位組件以及檢測組件，架體設有安裝板；放置組件，包括可轉動地穿設于安裝板的第一轉軸、以及連接于第一轉軸頂部用于放置晶圓的裝載臺；多組定位組件，沿裝載臺周向設置，定位組件包括可轉動地穿設于安裝板的第二轉軸、以及設置于第二轉軸頂部的定位柱，第二轉軸和定位柱的軸線平行，通過轉動第二轉軸帶動定位柱靠近和遠離裝載臺，以使晶圓中心定位于裝載臺的軸線上；檢測組件安裝于安裝板，檢測組件設有傳感器，以檢測晶圓的平邊和或切口，使得晶圓在裝載臺上實現準確定位，如此設置，能夠提供一種裝置對晶圓進行定位后再搬運至加工載臺，以提高晶圓研磨的質量及合格率。
本實用新型一種定位裝置在權利要求書中公布了：1.一種定位裝置，其特征在于，包括： 架體，設有安裝板； 放置組件，包括可轉動地穿設于所述安裝板的第一轉軸、以及連接于所述第一轉軸頂部用于放置晶圓的裝載臺； 多組定位組件，沿所述裝載臺周向設置，所述定位組件包括可轉動地穿設于所述安裝板的第二轉軸、以及設置于所述第二轉軸頂部的定位柱，所述第二轉軸和所述定位柱的軸線平行，通過轉動所述第二轉軸帶動所述定位柱靠近和遠離所述裝載臺，以使所述晶圓中心定位于所述裝載臺的軸線上； 檢測組件，安裝于所述安裝板，所述檢測組件設有傳感器，以檢測所述晶圓的平邊和或切口。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江芯暉裝備技術有限公司，其通訊地址為：314499 浙江省嘉興市海寧市海昌街道海寧經濟開發區漕河涇路17號03幢；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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