江蘇微導納米科技股份有限公司錢一萍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇微導納米科技股份有限公司申請的專利一種氣量補償裝置和氣動系統獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223282905U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422704681.1,技術領域涉及:F17D1/04;該實用新型一種氣量補償裝置和氣動系統是由錢一萍;智順華設計研發完成,并于2024-11-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種氣量補償裝置和氣動系統在說明書摘要公布了:本實用新型涉及半導體制造設備技術領域,具體而言,涉及一種氣量補償裝置和氣動系統。氣量補償裝置包括儲氣單元以及補氣管路;儲氣單元與補氣管路連通,補氣管路與氣源連通;儲氣單元配置有至少一個氣體分配口,氣體分配口用于與氣動元器件連通。氣量補償裝置能夠提高到達氣動元器件的氣流的流量和壓力的穩定性,并能夠滿足氣動元器件對壓縮氣體的需求,從而提高氣動元器件的響應穩定性和響應速度。
本實用新型一種氣量補償裝置和氣動系統在權利要求書中公布了:1.一種氣量補償裝置,其特征在于: 所述氣量補償裝置包括儲氣單元以及補氣管路; 所述儲氣單元與所述補氣管路連通,所述補氣管路與氣源連通;所述儲氣單元配置有至少一個氣體分配口,所述氣體分配口用于與氣動元器件連通。
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