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龍圖騰網獲悉深圳鐳赫技術有限公司申請的專利定位方法、系統及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120072730B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510533954.7，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權定位方法、系統及存儲介質是由何曦;李青格樂;飛利浦·肖恩·加斯塔爾多設計研發完成，并于2025-04-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本定位方法、系統及存儲介質在說明書摘要公布了：本申請提供一種定位方法、系統及存儲介質，包括：獲取樣品繞旋轉軸旋轉運動過程中的多組測量數據，其中，每組測量數據包括定位區域與基準點沿預設方向的測量距離、以及樣品相對于旋轉軸的旋轉角度；從多組測量數據中確定至少部分測量數據，作為擬合數據；根據擬合數據，利用預設擬合函數對測量距離和旋轉角度之間的關聯關系進行擬合，以獲取樣品相對于旋轉軸的位置關系。本發明提升了晶圓檢測的準確性和實時性。

本發明授權定位方法、系統及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種定位方法，其特征在于，待定位的樣品包括預設定位區域，所述定位方法包括： 獲取所述樣品繞旋轉軸旋轉運動過程中的多組測量數據，其中，每組測量數據包括所述定位區域與基準點沿預設方向的測量距離、以及所述樣品相對于所述旋轉軸的旋轉角度，所述基準點作為所述測量數據的參照標記物； 從多組所述測量數據中確定至少部分測量數據，作為擬合數據； 根據所述擬合數據，至少基于所述預設方向的斜率、或者至少基于距離r1，利用預設擬合函數對所述測量距離和所述旋轉角度之間的關聯關系進行擬合，以獲取所述樣品相對于所述旋轉軸的位置關系；其中： 待測交點為樣品中心繞所述旋轉軸旋轉時所述定位區域與所述預設方向的交點，坐標為（x，y）；定位區域以（xθ，yθ）為中心，預設方向為直線；xθ=x0cosθ-y0sinθ，yθ=x0sinθ-y0cosθ；（x0，y0）為中心起始位置的坐標，所述中心起始位置為所述旋轉角度θ為零時樣品中心的位置，所述直線為：y=k（x-xr）+yr,（xr，yr）為所述基準點的坐標，k為所述預設方向的斜率； 或者， 所述測量距離L，滿足：L=M-K；M為所述旋轉軸和所述基準點之間的距離，K為所述旋轉軸與待測交點之間的距離；所述距離K，滿足：；其中，設置以所述旋轉軸為圓心、以所述距離K為半徑的所述樣品的圓，為樣品圓心位于所述樣品旋轉的終止位置與圓的起始交點的距離，所述起始交點和所述圓心連線的方向經過所述樣品旋轉的起始位置，所述距離為樣品尺寸，θ為所述旋轉角度，d為偏心距離，所述偏心距離為樣品中心到所述旋轉軸之間的距離。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳鐳赫技術有限公司，其通訊地址為：518063 廣東省深圳市南山區粵海街道高新區社區高新南九道10號深圳灣科技生態園10棟503；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。