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龍圖騰網獲悉珠海恒格微電子裝備有限公司申請的專利一種等離子體設備測試方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120089585B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510565119.1，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權一種等離子體設備測試方法是由李志強;趙義黨;李志華設計研發完成，并于2025-04-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種等離子體設備測試方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種等離子體設備測試方法，本方法使用可以重復利用的測試板，測試板上鉆出不同孔徑的測試孔，并沿測試孔將測試板分割成第一子板和第二子板，第一子板和第二子板的切割面上均包括半圓孔，在半圓孔的孔壁上涂設有機涂料后再將第一子板和第二子板合并成完整的測試板，之后將測試板放入等離子體設備進行蝕刻，蝕刻后分開測試板，使用金相顯微鏡、百倍鏡和十倍鏡等測量工具直接測量第一子板和或第二子板的孔壁上有機涂料的余量，以分析出等離子體設備的刻蝕能力；本方法中的測試板可以重復利用，測試成本低，并且本方法可以通過測量工具直觀的分析出等離子體設備的刻蝕能力，不需要對每個孔都進行切片分析，提高了測試效率。

本發明授權一種等離子體設備測試方法在權利要求書中公布了：1.一種等離子體設備測試方法，其特征在于，包括如下步驟： 步驟S1：提供一塊抗等離子蝕刻的測試板（100），在所述測試板（100）上鉆出若干貫穿上下面的不同直徑的測試孔（101）； 步驟S2：將所述測試板（100）沿所述測試孔（101）豎直分割成第一子板（102）和第二子板（103），所述第一子板（102）和第二子板（103）的切割面（104）上均包括半圓孔（105）； 步驟S3：在所述第一子板（102）和第二子板（103）的所述半圓孔（105）的孔壁上涂設有機涂料； 步驟S4：將孔壁涂設有機涂料的所述第一子板（102）和第二子板（103）可拆卸的固定拼接在一起組成所述測試板（100），所述半圓孔（105）均對應的組合成所述測試孔（101）； 步驟S5：將組合好后的所述測試板（100）置于等離子設備中刻蝕，刻蝕完成后取出所述測試板（100）； 步驟S6：將所述測試板（100）拆分成所述第一子板（102）和第二子板（103），通過測量工具測量所述第一子板（102）和或第二子板（103）的所述半圓孔（105）中有機涂料的余量，以分析所述等離子體設備的刻蝕能力；通過所述測量工具測量所述半圓孔（105）中剩余有機涂料最頂端到所述半圓孔（105）頂部孔口的距離計為a,通過所述測量工具測量所述半圓孔（105）中剩余有機涂料最底端到所述半圓孔（105）底部孔口的距離計為b，所述測試板（100）板厚記為H，測試孔（101）的直徑記為d，測試孔（101）的厚徑比為Hd，對應厚徑比下等離子體設備的深蝕能力為（a+b）H。

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