蘇州敏芯微電子技術股份有限公司李諾倫獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州敏芯微電子技術股份有限公司申請的專利一種三軸加速度計及電子設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120314605B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510808998.6,技術領域涉及:G01P15/125;該發明授權一種三軸加速度計及電子設備是由李諾倫;莊瑞芬;李哲設計研發完成,并于2025-06-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種三軸加速度計及電子設備在說明書摘要公布了:本申請提出一種三軸加速度計及電子設備。該三軸加速度計包括:襯底層、第一檢測模塊、第二檢測模塊、第三檢測模塊;襯底層包括沿第三方向相互層疊的第一襯底和第二襯底;第三檢測模塊包括第三質量塊、至少一個扭轉梁、至少一個質量連接梁、第三電極層和至少一個錨點;第三質量塊包括第一質量模塊和第二質量模塊;扭轉梁沿第一方向布設,并與至少一個錨點連接;質量連接梁沿第二方向布設,包括第一部分和第二部分,第一部分的長度等于第二部分的長度,質量連接梁的中點與至少一個扭轉梁連接;第三電極層設置在質量連接梁與第二襯底之間,質量連接梁至第三電極層的距離小于質量連接梁至第一襯底的距離。通過上述結構,可避免扭轉梁與第一襯底相撞。
本發明授權一種三軸加速度計及電子設備在權利要求書中公布了:1.一種三軸加速度計,其特征在于,具有相互相交且垂直的第一方向X、第二方向Y、第三方向Z,包括: 襯底層4,包括沿所述第三方向Z相互層疊的第一襯底41和第二襯底42,所述第一襯底41和所述第二襯底42之間圍設形成第一空間43; 第一檢測模塊1,用于檢測所述第一方向X上的加速度; 第二檢測模塊2,用于檢測所述第二方向Y上的加速度; 第三檢測模塊3,用于檢測第三方向Z上的加速度;所述第一檢測模塊1、所述第二檢測模塊2和所述第三檢測模塊3均布設在所述第一空間43內; 所述第三檢測模塊3包括: 第三質量塊31,包括第一質量模塊311和第二質量模塊312; 至少一個錨點; 至少一個扭轉梁32,沿所述第一方向X布設,并與所述至少一個錨點連接; 至少一個質量連接梁33,沿所述第二方向Y布設,包括相連接的第一部分333和第二部分334,所述第一部分333的長度等于所述第二部分334的長度,所述第一部分333與所述第一質量模塊311連接,所述第二部分334與所述第二質量模塊312連接,所述質量連接梁33的中點335與所述至少一個扭轉梁32連接; 第三電極層34,設置在所述質量連接梁33與所述第二襯底42之間,所述質量連接梁33至所述第三電極層34的距離小于所述質量連接梁33至所述第一襯底41的距離,所述第三電極層34與所述第一質量模塊311形成電容結構,所述第三電極層34與所述第二質量模塊312形成電容結構。
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