浜松光子學株式會社山本晃永獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浜松光子學株式會社申請的專利背面入射型固體攝像裝置的制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114930539B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180008815.2,技術領域涉及:H04N5/00;該發明授權背面入射型固體攝像裝置的制造方法是由山本晃永;粕谷立城;谷崎和宏;鈴木義之設計研發完成,并于2021-01-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本背面入射型固體攝像裝置的制造方法在說明書摘要公布了:本發明的背面入射型固體攝像裝置的制造方法具備:第1工序,準備具有表面和背面的第1導電型的半導體層;第2工序,通過選擇性地蝕刻半導體層的表面,在半導體層的表面形成第1凹凸區域;第3工序,通過使第1凹凸區域的凹凸平滑,在半導體層的表面形成第2凹凸區域;和第4工序,沿第2凹凸區域形成絕緣層,在絕緣層上形成多個電荷傳輸電極。
本發明授權背面入射型固體攝像裝置的制造方法在權利要求書中公布了:1.一種背面入射型固體攝像裝置的制造方法,其中, 具備: 第1工序,準備具有表面和背面的第1導電型的半導體層; 第2工序,通過選擇性地蝕刻所述半導體層的所述表面,在所述半導體層的所述表面形成第1凹凸區域; 第3工序,通過使所述第1凹凸區域的凹凸平滑,在所述半導體層的所述表面形成第2凹凸區域;和 第4工序,沿所述第2凹凸區域形成絕緣層,在所述絕緣層上形成多個電荷傳輸電極。
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