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本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基板處理裝置：包括 處理模塊，包括支承基板的基板支承部、翻轉(zhuǎn)所述基板的翻轉(zhuǎn)部、以及用于處理所述基板的處理部，所述翻轉(zhuǎn)部設(shè)置在所述處理模塊的腔室中；以及 傳送模塊，向所述處理模塊傳送所述基板， 其中，所述傳送模塊將第一面朝上的所述基板引入到所述處理模塊中并安置在所述翻轉(zhuǎn)部上， 所述翻轉(zhuǎn)部翻轉(zhuǎn)所述基板以使所述基板的第二面朝上，并將經(jīng)翻轉(zhuǎn)的所述基板安置在所述基板支承部上， 所述處理部對(duì)安置在所述基板支承部上的所述基板的所述第二面進(jìn)行第一處理， 所述翻轉(zhuǎn)部從所述基板支承部取走經(jīng)所述第一處理的所述基板，并且翻轉(zhuǎn)經(jīng)所述第一處理的所述基板以使所述第一面朝上， 所述傳送模塊將所述第一面朝上的所述基板從所述處理模塊取出，并將所述第一面朝上的所述基板再次引入到所述處理模塊中并安置在所述基板支承部上，以及 所述處理部對(duì)安置在所述基板支承部上的所述基板的所述第一面進(jìn)行第二處理。

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