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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請的專利半導體工藝設備、其升降機構及其控制方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN114551302B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202210158380.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權半導體工藝設備、其升降機構及其控制方法是由郭開龍設計研發(fā)完成，并于2022-02-21向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本半導體工藝設備、其升降機構及其控制方法在說明書摘要公布了：本申請公開一種半導體工藝設備、其升降機構及其控制方法，屬于半導體設備技術領域。半導體工藝設備包括反應腔室，所述升降機構設置于所述反應腔室的下方，所述升降機構包括伺服電機、頂針和拉壓力檢測件；所述拉壓力檢測件的一端與所述伺服電機的驅動端連接，所述拉壓力檢測件的另一端與所述頂針連接，用于檢測所述頂針所受的拉壓力。該方案能夠解決粘片檢測精度較低的問題。

本發(fā)明授權半導體工藝設備、其升降機構及其控制方法在權利要求書中公布了：1.一種半導體工藝設備的升降機構，所述半導體工藝設備包括反應腔室，其特征在于，所述升降機構設置于所述反應腔室的下方，所述升降機構包括伺服電機、頂針（130）和拉壓力檢測件（140）； 所述拉壓力檢測件（140）的一端與所述伺服電機的驅動端連接，所述拉壓力檢測件（140）的另一端與所述頂針（130）連接，用于檢測所述頂針（130）所受的拉壓力； 所述頂針（130）的移動方向為第一方向； 所述升降機構還包括傳動組件，所述傳動組件包括第一傳動件（150）和第二傳動件（160），所述第一傳動件（150）與所述頂針（130）相連，所述第二傳動件（160）與所述驅動端相連； 所述拉壓力檢測件（140）的一端與所述第一傳動件（150）相連，所述拉壓力檢測件（140）的另一端與所述第二傳動件（160）相連； 所述傳動組件還包括第一限位件（152）和第二限位件（161），所述第一限位件（152）和所述第二限位件（161）中的一者設置于所述第一傳動件（150）朝向所述第二傳動件（160）的表面上，另一者設置于所述第二傳動件（160）朝向所述第一傳動件（150）的表面上； 在所述第一方向上，所述第一限位件（152）和所述第二限位件（161）之間以及所述第一限位件（152）和用于設置所述第二限位件（161）的所述第一傳動件（150）或所述第二傳動件（160）之間均具有間隙，所述間隙用于使所述第一傳動件（150）和所述第二傳動件（160）之間在所述第一方向上沒有力傳遞。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)文昌大道8號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。