北京北方華創微電子裝備有限公司陳忠明獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利半導體清洗設備及其承載裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114639632B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210168185.1，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權半導體清洗設備及其承載裝置是由陳忠明;宋愛軍;趙宏宇;張敬博設計研發完成，并于2022-02-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體清洗設備及其承載裝置在說明書摘要公布了：本申請實施例提供一種半導體清洗設備及其承載裝置。該承載裝置包括：卡盤結構、密封轉接結構、擰緊結構及驅動結構；卡盤結構的頂面用于承載晶圓；密封轉接結構的密封罩用于在卡盤結構的底部形成有密封的安裝空間，并且卡盤結構能相對于密封罩旋轉，驅動結構與密封罩的底部固定連接；轉接組件位于安裝空間內，并且分別與卡盤結構及驅動結構連接，驅動結構用于通過轉接組件帶動卡盤結構旋轉；通過在密封罩底部操作擰緊結構，使位于安裝空間內的擰緊結構動作，以用于將轉接組件與卡盤結構連接。本申請實施例實現了卡盤結構的頂面為一體式結構，避免卡盤結構上的微小顆粒對晶圓的正面造成污染，從而大幅提高清洗效率及良率。
本發明授權半導體清洗設備及其承載裝置在權利要求書中公布了：1.一種半導體清洗設備的承載裝置，其特征在于，包括：卡盤結構、密封轉接結構、擰緊結構及驅動結構； 所述卡盤結構的頂面用于承載晶圓； 所述密封轉接結構包括密封罩及轉接組件，所述密封罩蓋合于所述卡盤結構的底面，用于在所述卡盤結構的底部形成有密封的安裝空間，并且所述卡盤結構能相對于所述密封罩旋轉，所述驅動結構與所述密封罩的底部固定連接；所述轉接組件位于所述安裝空間內，并且分別與所述卡盤結構及所述驅動結構連接，所述驅動結構用于驅動所述轉接組件帶動所述卡盤結構旋轉； 所述擰緊結構穿設于所述密封罩，并且能伸入所述安裝空間內，通過在所述密封罩底部操作所述擰緊結構，使位于所述安裝空間內的擰緊結構動作，以用于將所述轉接組件與所述卡盤結構連接。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市北京經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號