美商樓氏電子有限公司P·V·洛佩特獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉美商樓氏電子有限公司申請的專利MEMS管芯和基于MEMS的傳感器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115119120B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210263170.3,技術領域涉及:H04R19/00;該發明授權MEMS管芯和基于MEMS的傳感器是由P·V·洛佩特;M·佩德森;V·納德瑞恩設計研發完成,并于2022-03-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本MEMS管芯和基于MEMS的傳感器在說明書摘要公布了:本發明涉及一種MEMS管芯和基于MEMS的傳感器。微機電系統MEMS管芯包括:活塞;面向該活塞的電極,其中,所述活塞與所述電極之間的電容隨著所述活塞與所述電極之間的距離改變而改變;以及設置在所述活塞與所述電極之間的彈性結構例如,墊圈或褶皺壁,其中,所述彈性結構支撐所述活塞并抵擋所述活塞相對于所述電極的移動。后腔容積由活塞和彈性結構界定,并且彈性結構阻止空氣離開后腔容積?;钊梢允怯芍T如金屬或摻雜半導體之類的導電材料制成的剛性體。MEMS管芯還可以包括第二彈性結構,該第二彈性結構為活塞提供進一步的支撐并設置在后腔容積內。
本發明授權MEMS管芯和基于MEMS的傳感器在權利要求書中公布了:1.一種用于麥克風的微機電系統MEMS管芯,所述MEMS管芯用作聲換能器,所述MEMS管芯包括: 活塞; 電極,所述電極面向所述活塞,其中,所述活塞與所述電極之間的電容隨著所述活塞與所述電極之間的距離改變而改變; 彈性結構,所述彈性結構設置在所述活塞與所述電極之間,其中,所述彈性結構支撐所述活塞,所述彈性結構抵擋所述活塞相對于所述電極的移動,其中,由所述活塞和所述彈性結構界定后腔容積,并且所述彈性結構阻止空氣離開所述后腔容積;以及 第二彈性結構,所述第二彈性結構設置在所述后腔容積內,其中,所述第二彈性結構支撐所述活塞。
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