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龍圖騰網(wǎng)獲悉合肥晶合集成電路股份有限公司申請(qǐng)的專利一種晶圓檢測(cè)方法及檢測(cè)系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114709146B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210361087.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓檢測(cè)方法及檢測(cè)系統(tǒng)是由蔡易霖;管濤;林晧庭;蔡俊郎設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-04-07向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種晶圓檢測(cè)方法及檢測(cè)系統(tǒng)在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提出一種晶圓檢測(cè)方法及檢測(cè)系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。所述晶圓檢測(cè)方法包括：將所有晶圓編號(hào)；從所述晶圓中選定正常檢測(cè)站點(diǎn)所需的第一待測(cè)晶圓，并獲取所述第一待測(cè)晶圓的編號(hào)；從所述晶圓中選定臨時(shí)檢測(cè)站點(diǎn)所需的第二待測(cè)晶圓，并獲取所述第二待測(cè)晶圓的編號(hào)；以及判斷所述第一待測(cè)晶圓的編號(hào)和所述第二待測(cè)晶圓的編號(hào)是否一致；若一致，則在所述第一待測(cè)晶圓中去除編號(hào)一致的所述晶圓；若不一致，則所述第一待測(cè)晶圓在所述正常檢測(cè)站點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)。本發(fā)明提出的晶圓檢測(cè)方法及檢測(cè)系統(tǒng)，提升了晶圓抽檢效率。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓檢測(cè)方法及檢測(cè)系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓檢測(cè)方法，其特征在于，包括： 將所有晶圓編號(hào)； 從所述晶圓中選定正常檢測(cè)站點(diǎn)所需的第一待測(cè)晶圓，并獲取所述第一待測(cè)晶圓的編號(hào)； 從所述晶圓中選定臨時(shí)檢測(cè)站點(diǎn)所需的第二待測(cè)晶圓，并獲取所述第二待測(cè)晶圓的編號(hào)，并將所述第二待測(cè)晶圓在所述臨時(shí)檢測(cè)站點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)；以及 在所述第一待測(cè)晶圓在正常檢測(cè)站點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)前，判斷所述第一待測(cè)晶圓的編號(hào)和所述第二待測(cè)晶圓的編號(hào)是否一致； 若一致，編號(hào)一致的所述晶圓已在所述臨時(shí)檢測(cè)站點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，則在所述第一待測(cè)晶圓中去除編號(hào)一致的所述晶圓； 若不一致，則將所述第一待測(cè)晶圓在所述正常檢測(cè)站點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人合肥晶合集成電路股份有限公司，其通訊地址為：230012 安徽省合肥市新站區(qū)合肥綜合保稅區(qū)內(nèi)西淝河路88號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。