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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利進氣裝置及半導體工藝設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114743903B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210575035.2，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權進氣裝置及半導體工藝設備是由劉勝明;鄭波;榮延棟設計研發完成，并于2022-05-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本進氣裝置及半導體工藝設備在說明書摘要公布了：本申請公開了一種進氣裝置及半導體工藝設備，涉及半導體裝備領域。一種進氣裝置包括：第一腔體、第二腔體、第一連接管和多個第二連接管；第一腔體與第二腔體層疊設置，且第一腔體朝向第二腔體的一側開設第一進氣孔和多個第一勻氣孔，第一腔體的背離第二腔體的一側開設多個第二勻氣孔，且多個第二勻氣孔中的部分第二勻氣孔通過多個第二連接管與多個第一勻氣孔一一對應連通；第一連接管穿過第二腔體，并通過第一進氣孔與第一腔體連通，第二腔體的背離第一腔體的一側開設第二進氣孔，第二進氣孔與第二腔體連通。一種半導體工藝設備，包括上述進氣裝置。本申請能夠解決當前勻氣結構進氣時導致工藝結果的重復性和均勻性較差的問題。

本發明授權進氣裝置及半導體工藝設備在權利要求書中公布了：1.一種進氣裝置（100），用于向半導體工藝設備的工藝腔室（200）進行輸氣，其特征在于，所述進氣裝置（100）包括：第一腔體（A）、第二腔體（B）、第一連接管（130）和多個第二連接管（140）； 所述第一腔體（A）與所述第二腔體（B）層疊設置，且所述第一腔體（A）朝向所述第二腔體（B）的一側開設有連通兩者的第一進氣孔（121）和多個第一勻氣孔（122），所述第一腔體（A）的背離所述第二腔體（B）的一側開設有多個第二勻氣孔（1111），且多個所述第二勻氣孔（1111）中的部分所述第二勻氣孔（1111）通過多個所述第二連接管（140）與每個所述第一勻氣孔（122）一一對應連通； 所述第一連接管（130）穿過所述第二腔體（B），并通過所述第一進氣孔（121）與所述第一腔體（A）連通，所述第二腔體（B）的背離所述第一腔體（A）的一側開設有第二進氣孔（1121），所述第二進氣孔（1121）與所述第二腔體（B）連通； 所述進氣裝置（100）包括殼體（110），所述殼體（110）包括間隔設置的第一壁（111）、第二壁（112）以及連接所述第一壁（111）和所述第二壁（112）的連接壁（113）； 所述殼體（110）內設有隔板（120），所述隔板（120）位于所述第一壁（111）與所述第二壁（112）之間，且所述隔板（120）的外緣周與所述連接壁（113）連接，所述隔板（120）將所述殼體（110）的內腔分隔為所述第一腔體（A）和所述第二腔體（B）； 所述隔板（120）可移動地設置于所述殼體（110）內，以使所述隔板（120）能夠靠近或遠離所述第一壁（111）； 所述第二連接管（140）為彈性伸縮管，所述第二連接管（140）的兩端分別固定于所述隔板（120）和所述第一壁（111）。

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