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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利控制參數調整方法以及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116643491B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211650928.5，技術領域涉及：G05B13/02；該發明授權控制參數調整方法以及存儲介質是由仲村武瑠;安陪裕滋設計研發完成，并于2022-12-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本控制參數調整方法以及存儲介質在說明書摘要公布了：本發明提供即使在使基板相對于噴嘴移動的移動控制存在限制條件的情況下也能夠高效地調整移動控制參數的控制參數調整方法。控制參數調整方法包括：噴出數據準備工序S20，準備表示噴嘴71噴出的處理液的噴出量的時間變化的噴出數據；以及移動控制參數調整工序，在噴出數據準備工序后，對用于控制使基板S相對于噴嘴相對地移動的移動機構5的移動控制參數進行調整。移動控制參數調整工序包括：移動速度測量工序S24，測量根據設定的移動控制參數控制所述移動機構時的移動速度；以及評價值導出工序S28，使用噴出數據和施加了移動機構中的移動控制的限制條件的速度數據評價函數，導出移動速度測量工序中得到的速度數據的評價值。

本發明授權控制參數調整方法以及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種控制參數調整方法，調整基板處理裝置的控制參數，該基板處理裝置通過一邊從噴嘴噴出處理液一邊使基板相對于所述噴嘴相對地移動來向基板涂布處理液，其中，該控制參數調整方法包括： a噴出數據準備工序，準備表示所述噴嘴噴出的處理液的噴出壓力的時間變化的噴出數據；以及 b移動控制參數調整工序，在所述噴出數據準備工序后，對移動控制參數進行調整，該移動控制參數用于控制使所述基板相對于所述噴嘴相對地移動的移動機構， 所述移動控制參數調整工序包括： b-1移動速度測量工序，基于所述移動機構的輸出，測量根據設定的移動控制參數控制所述移動機構時的移動速度； b-2評價工序，使用所述噴出數據和施加了所述移動機構中的移動控制的限制條件的評價函數，對在所述移動速度測量工序中得到的速度數據進行評價；以及 b-3工序，反復執行基于根據所述評價工序的結果更新的所述移動控制參數的所述移動速度測量工序和所述評價工序，使所述移動控制參數最優化， 所述評價函數是導出表示所述噴出數據與所述速度數據的差異的評價值的函數， 所述評價工序包括： b-21第一回歸工序，通過將所述噴出數據回歸至第一回歸函數，獲取第一回歸參數；以及 b-22第二回歸工序，通過將所述速度數據回歸至所述第一回歸函數，獲取第二回歸參數， 所述第一回歸函數是施加了所述移動控制的限制條件的函數， 所述評價函數是導出表示所述第一回歸參數與所述第二回歸參數的差異的評價值的函數。

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