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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種真空吸盤(pán)治具獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115985831B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202211715931.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)一種真空吸盤(pán)治具是由祝軍;祝建敏;張亞博設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-12-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種真空吸盤(pán)治具在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種真空吸盤(pán)治具，包括底盤(pán)，所述底盤(pán)內(nèi)設(shè)有第一通道，所述第一通道的其中一端連通于所述底盤(pán)外；還包括周向活動(dòng)塊，所述周向活動(dòng)塊在所述底盤(pán)的周向上與所述底盤(pán)滑動(dòng)連接，所述周向活動(dòng)塊上設(shè)有第二通道，所述第二通道的其中一端與所述第一通道的另一端連通；還包括徑向活動(dòng)塊，所述徑向活動(dòng)塊在所述底盤(pán)的徑向上與所述周向活動(dòng)塊滑動(dòng)連接，所述徑向活動(dòng)塊內(nèi)設(shè)有第三通道。本發(fā)明采用吸盤(pán)固定代替粘蠟的固定方式，硅產(chǎn)品與吸盤(pán)治具靠真空完成連接固定，只需控制治具與產(chǎn)品接觸面的平面度和平行度即可做到硅產(chǎn)品與治具的無(wú)縫連接，保證后續(xù)加工中的精度。

本發(fā)明授權(quán)一種真空吸盤(pán)治具在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種真空吸盤(pán)治具，包括底盤(pán)（1），其特征在于，所述底盤(pán)（1）內(nèi)設(shè)有第一通道，所述第一通道的其中一端連通于所述底盤(pán)（1）外；還包括周向活動(dòng)塊（2），所述周向活動(dòng)塊（2）在所述底盤(pán)（1）的周向上與所述底盤(pán)（1）滑動(dòng)連接，所述周向活動(dòng)塊（2）上設(shè)有第二通道，所述第二通道的其中一端與所述第一通道的另一端連通；還包括徑向活動(dòng)塊（3），所述徑向活動(dòng)塊（3）在所述底盤(pán)（1）的徑向上與所述周向活動(dòng)塊（2）滑動(dòng)連接；所述徑向活動(dòng)塊（3）內(nèi)設(shè)有第三通道，所述第三通道的其中一端與所述第二通道的另一端連通，所述徑向活動(dòng)塊（3）的上端設(shè)有用于吸附硅產(chǎn)品的吸口（32），所述吸口（32）連通于所述第三通道的另一端。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人杭州盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司，其通訊地址為：310053 浙江省杭州市濱江區(qū)濱康路668號(hào)C幢；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話(huà)0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。