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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司;合肥至微半導(dǎo)體有限公司申請的專利一種晶圓托籃輸送裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116313955B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202310099608.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓托籃輸送裝置及方法是由李盼盼;孔昊;盧證凱;黃彧霈設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-02-10向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓托籃輸送裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明一種晶圓托籃輸送裝置公開了輸入傳遞平臺、第一線性機器人、中轉(zhuǎn)托架、導(dǎo)片托架和第二線性機器人，中轉(zhuǎn)托架用于承載托籃在第一位置和第二位置之間移動，導(dǎo)片托架用于承載托籃在第三位置和第四位置之間移動，第二線性機器人用于在中轉(zhuǎn)托架的第二位置和導(dǎo)片托架第三位置的之間轉(zhuǎn)移托籃；第一線性機器人和第二線性機器人均沿第一方向往復(fù)移動，中轉(zhuǎn)托架和所述導(dǎo)片托架均沿第二方向往復(fù)移動，本發(fā)明提供的一種晶圓托籃輸送裝置，托籃的移動路徑為“U”形，減少了托籃輸送系統(tǒng)所占用的空間，減少了空氣雜質(zhì)和灰塵對晶圓的污染；本發(fā)明還公開了一種晶圓托籃輸送方法，減少了空置的托籃對晶圓輸送的干擾，提高了晶圓的傳輸效率。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓托籃輸送裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓托籃輸送裝置，其特征在于，包括： 輸入機構(gòu)（1），包括輸入傳遞平臺（11）和第一線性機器人（12），所述輸入傳遞平臺（11）設(shè)置有若干托籃承載位（110），所述第一線性機器人（12）用于承載載有晶圓的托籃（10）沿所述輸入傳遞平臺在托籃承載位（110）間移動； 中轉(zhuǎn)機構(gòu)（2），包括中轉(zhuǎn)托架（21），用于承載托籃（10）在第一位置和第二位置之間移動，其中，所述第一位置對接所述輸入傳遞平臺（11），用于承載第一線性機器人（12）轉(zhuǎn)移的托籃（10），所述中轉(zhuǎn)托架（21）在第一位置和第二位置之間的移動路徑垂直于所述輸入傳遞平臺（11）； 導(dǎo)片機構(gòu)（3），包括導(dǎo)片托架（31）和第二線性機器人（32），所述導(dǎo)片托架（31）用于承載托籃（10）在第三位置和第四位置之間移動，所述第二線性機器人（32）用于在中轉(zhuǎn)托架（21）的第二位置和導(dǎo)片托架（31）第三位置的之間轉(zhuǎn)移托籃（10）； 其中，所述第一線性機器人（12）和所述第二線性機器人（32）均沿第一方向往復(fù)移動，所述中轉(zhuǎn)托架（21）和所述導(dǎo)片托架（31）均沿第二方向往復(fù)移動，所述第二方向和所述第一方向垂直； 還包括輸出機構(gòu)（4），所述輸出機構(gòu)（4）包括輸出托架（41）、升降機（42）及背式傳送機，所述輸出托架（41）與中轉(zhuǎn)托架（21）的第二位置對應(yīng)，所述第二線性機器人（32）將導(dǎo)片后的托籃（10）移動至輸出托架（41），所述輸出托架（41）在升降機（42）的帶動下上升進入背式傳送機，進行托籃（10）卸載； 所述托籃（10）沿第一線性機器人（12）、中轉(zhuǎn)托架（21）和第二線性機器人（32）的單向移動路徑呈“U”形。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司;合肥至微半導(dǎo)體有限公司，其通訊地址為：200000 上海市閔行區(qū)紫海路170號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。