江西耀馳科技有限公司;江西兆馳半導體有限公司毛燁琪獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉江西耀馳科技有限公司;江西兆馳半導體有限公司申請的專利一種RTA機臺退火載片治具獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223273260U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202421939804.3，技術領域涉及：H01L21/687；該實用新型一種RTA機臺退火載片治具是由毛燁琪;陳景超;呂守貴;郭磊;董國慶;文國昇;金從龍設計研發完成，并于2024-08-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種RTA機臺退火載片治具在說明書摘要公布了：本實用新型提供了一種RTA機臺退火載片治具，包括承載盤，承載盤上設有若干載片凹槽，載片凹槽用于承載待退火的晶圓片，載片凹槽包括環形的上載片臺和圓形的下載片臺，下載片臺設于上載片臺的環形內且與上載片臺同軸心，上載片臺的內徑與下載片臺的直徑相同，下載片臺的槽深大于上載片臺的槽深，下載片臺內設有若干立柱，立柱的高度與下載片臺和上載片臺的槽深差相同，晶圓片的邊緣置于上載片臺上，晶圓片的中部置于若干立柱上，上載片臺和若干立柱用于支撐晶圓片，上載片臺上設有弧形的取片槽，取片槽的底部與下載片臺的底部平齊。本實用新型提供的RTA機臺退火載片治具，有效的減少了晶圓片表面摩擦劃傷，提高產品良率。
本實用新型一種RTA機臺退火載片治具在權利要求書中公布了：1.一種RTA機臺退火載片治具，其特征在于，包括承載盤，所述承載盤上設有若干載片凹槽，所述載片凹槽用于承載待退火的晶圓片，所述載片凹槽包括環形的上載片臺和圓形的下載片臺，所述下載片臺設于所述上載片臺的環形內且與所述上載片臺同軸心，所述上載片臺的內徑與所述下載片臺的直徑相同，所述下載片臺的槽深大于所述上載片臺的槽深，所述下載片臺內設有若干立柱，所述立柱的高度與所述下載片臺和所述上載片臺的槽深差相同，所述晶圓片的邊緣置于所述上載片臺上，所述晶圓片的中部置于若干所述立柱上，所述上載片臺和若干所述立柱用于支撐所述晶圓片，所述上載片臺上設有弧形的取片槽，所述取片槽的底部與所述下載片臺的底部平齊。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江西耀馳科技有限公司;江西兆馳半導體有限公司，其通訊地址為：330096 江西省南昌市南昌高新技術產業開發區天祥北大道1717號第二層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
以上內容由AI智能生成
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號