蘇州方昇光電股份有限公司杜傳學獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州方昇光電股份有限公司申請的專利一種線性加熱源坩堝及沉積裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223268736U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422101339.2,技術領域涉及:C23C14/24;該實用新型一種線性加熱源坩堝及沉積裝置是由杜傳學;金政澤設計研發完成,并于2024-08-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種線性加熱源坩堝及沉積裝置在說明書摘要公布了:本實用新型涉及一種線性加熱源坩堝及沉積裝置,包括:坩堝本體和噴射組件,坩堝本體的橫截面為扁平花生型;噴射組件包括噴板和兩個隔板,兩個隔板沿坩堝本體的軸向等距設置在坩堝本體內部,兩個隔板將坩堝本體分隔成三個材料填充區;噴板設置在坩堝本體的頂部,噴板的表面設置有若干個噴嘴,若干個噴嘴均布在噴板上,且若干個噴嘴的分布面與坩堝本體的橫截面相同。本實用新型坩中堝本體的橫截面為扁平花生型,扁平花生型結構使LCR三側的膜厚分布相對比較均勻,蒸鍍到基板上面的量相差很小,消耗量一致,保證LCR三側膜厚基本一致,不會出現膜厚相差很大的情況,從而可以改善鍍膜的均勻性,提高了材料利用率。
本實用新型一種線性加熱源坩堝及沉積裝置在權利要求書中公布了:1.一種線性加熱源坩堝,其特征在于,包括: 坩堝本體,所述坩堝本體的橫截面為扁平花生型; 噴射組件,所述噴射組件包括噴板和兩個隔板,兩個所述隔板沿所述坩堝本體的軸向等距設置在所述坩堝本體內部,兩個所述隔板將所述坩堝本體分隔成三個材料填充區;所述噴板設置在所述坩堝本體的頂部,所述噴板的表面設置有若干個噴嘴,若干個所述噴嘴均布在所述噴板上,且若干個所述噴嘴的分布面與所述坩堝本體的橫截面相同。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州方昇光電股份有限公司,其通訊地址為:215000 江蘇省蘇州市工業園區金雞湖大道99號蘇州納米城中北區23幢214室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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