蘇州鑫睿微電子設(shè)備有限公司韋勝獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州鑫睿微電子設(shè)備有限公司申請的專利一種用于高密度等離子體設(shè)備的快速接頭獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223270843U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202422701759.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F16L23/024；該實用新型一種用于高密度等離子體設(shè)備的快速接頭是由韋勝;趙明鋯設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-11-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種用于高密度等離子體設(shè)備的快速接頭在說明書摘要公布了：本實用新型涉及高密度等離子體設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于高密度等離子體設(shè)備的快速接頭，包括裝置本體，所述裝置本體內(nèi)包含主導(dǎo)管、腔室分管、控制閥、法蘭組件和快接組件，所述主導(dǎo)管一側(cè)連接有多組腔室分管，所述腔室分管外端連接有控制閥，所述法蘭組件設(shè)置在控制閥外端，所述快接組件連接在法蘭組件外端，所述法蘭組件包含內(nèi)法蘭、外法蘭和內(nèi)接管，所述快接組件包含連接座，所述連接座前端設(shè)有螺紋管且螺紋管前端連接有彈性片，能夠?qū)崿F(xiàn)對內(nèi)外法蘭的雙重密封保護(hù)，有效提高了法蘭連接處的密封效果，能夠?qū)崿F(xiàn)對外接管的快速連接，節(jié)省在快接頭損壞的情況下，更換快接頭所需時間，避免影響其他處理腔室的生產(chǎn)。

本實用新型一種用于高密度等離子體設(shè)備的快速接頭在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于高密度等離子體設(shè)備的快速接頭，其特征在于：包括裝置本體1，所述裝置本體1內(nèi)包含主導(dǎo)管2、腔室分管3、控制閥4、法蘭組件5和快接組件6，所述主導(dǎo)管2一側(cè)連接有多組腔室分管3，所述腔室分管3外端連接有控制閥4，所述法蘭組件5設(shè)置在控制閥4外端，所述快接組件6連接在法蘭組件5外端。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人蘇州鑫睿微電子設(shè)備有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)東環(huán)路1500號現(xiàn)代創(chuàng)展大廈1幢1607-1室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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