漢陽大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán)鄭在景獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉漢陽大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán)申請(qǐng)的專利包括結(jié)晶IZTO氧化物半導(dǎo)體的薄膜晶體管及其制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115088083B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202180014080.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D30/67;該發(fā)明授權(quán)包括結(jié)晶IZTO氧化物半導(dǎo)體的薄膜晶體管及其制造方法是由鄭在景;溫努日;金洸福設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2021-02-16向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本包括結(jié)晶IZTO氧化物半導(dǎo)體的薄膜晶體管及其制造方法在說明書摘要公布了:提供了一種結(jié)晶IZTO氧化物半導(dǎo)體和包括該結(jié)晶IZTO氧化物半導(dǎo)體的薄膜晶體管。該薄膜晶體管包括:柵極;與柵極的上部或下部重疊并具有六方晶粒的結(jié)晶In?Zn?Sn氧化物IZTO溝道層;設(shè)置在柵極和IZTO溝道層之間的柵絕緣膜,以及連接至IZTO溝道層的各端的源極和漏極。
本發(fā)明授權(quán)包括結(jié)晶IZTO氧化物半導(dǎo)體的薄膜晶體管及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種薄膜晶體管,包括: 柵極; 結(jié)晶In-Zn-Sn氧化物(IZTO)溝道層,所述結(jié)晶In-Zn-Sn氧化物(IZTO)溝道層與所述柵極的上部或下部重疊并具有六方晶粒; 柵絕緣層,所述柵絕緣層設(shè)置在所述柵極和所述IZTO溝道層之間;以及 源極和漏極,所述源極和漏極分別連接至所述IZTO溝道層的兩端, 其中所述六方晶粒是具有ZnOkIn2O3相的晶粒,其中k為3至11的整數(shù),以及 其中所述IZTO溝道層還具有作為亞固相的xZnIn2O4-1-xZn2SnO4,xZnIn2O4-1-xZn2SnO4為尖晶石相,其中0x0.45。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人漢陽大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán),其通訊地址為:韓國首爾;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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