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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會(huì)社島津制作所申請(qǐng)的專利閥控制裝置以及推斷裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115111422B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110288705.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F16K31/04；該發(fā)明授權(quán)閥控制裝置以及推斷裝置是由小崎純一郎設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-03-18向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本閥控制裝置以及推斷裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種閥控制裝置以及推斷裝置，閥控制裝置可謀求調(diào)壓控制的精度提升。在閥控制裝置1b中，運(yùn)算部210在朝腔室導(dǎo)入氣體時(shí)將閥體12的開度θr固定成一定，并基于閥體12的開度θr已被固定成一定時(shí)的壓力測(cè)量值Pr的變化信息，推斷真空閥1的排氣信息。而且，調(diào)壓控制部21基于所述排氣信息來控制閥體12的開度，進(jìn)行腔室的調(diào)壓控制。

本發(fā)明授權(quán)閥控制裝置以及推斷裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種閥控制裝置，是基于安裝有真空閥的腔室的壓力測(cè)量值與所述腔室的壓力目標(biāo)值來控制閥體開度，進(jìn)行所述腔室的調(diào)壓的閥控制裝置，其中，包括： 開度設(shè)定部，在朝所述腔室導(dǎo)入氣體時(shí)將所述閥體開度固定成一定；以及 推斷部，在所述閥體開度已被固定成一定的狀態(tài)中，基于算出的量與差量的比，推斷所述真空閥的排氣信息，所述算出的量是基于不同時(shí)刻的第一時(shí)刻以及第二時(shí)刻的壓力測(cè)量值以及不同時(shí)刻壓力測(cè)量值的經(jīng)時(shí)的壓力變化率的差所算出的量，所述差量是所述第一時(shí)刻與所述第二時(shí)刻的所述壓力測(cè)量值的差量； 所述閥控制裝置基于所述排氣信息來控制所述閥體開度，進(jìn)行所述腔室的調(diào)壓控制。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人株式會(huì)社島津制作所，其通訊地址為：日本京都府京都市中京區(qū)西之京桑原町1番地；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。