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龍圖騰網(wǎng)獲悉奧加諾株式會(huì)社申請(qǐng)的專利超純水供給系統(tǒng)、控制裝置以及程序獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116133762B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180055028.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B08B3/10；該發(fā)明授權(quán)超純水供給系統(tǒng)、控制裝置以及程序是由蔦野恭平;中居巧;菅原廣設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-08-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本超純水供給系統(tǒng)、控制裝置以及程序在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：超純水供給系統(tǒng)具有：流通管210，使超純水從超純水制造設(shè)備100流向清洗裝置120；處理單元110，設(shè)置于流通管210上；流通管220，在超純水制造設(shè)備100與處理單元110之間從流通管210分支出來(lái)，使超純水流向清洗裝置120；水量控制部310，設(shè)置于流通管220從流通管210分支的第一分支部；水量控制部320，對(duì)從流通管220流向清洗裝置120的超純水進(jìn)行控制；比較部510，比較第一量與第二量，第一量是由處理單元110處理后的超純水中含有的雜質(zhì)的量，所述第二量是未被處理單元110處理的超純水中含有的雜質(zhì)的量；以及流路控制部520，根據(jù)比較的結(jié)果來(lái)控制水量控制部310、320。

本發(fā)明授權(quán)超純水供給系統(tǒng)、控制裝置以及程序在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種超純水供給系統(tǒng)，具有： 第一流通管，其使超純水從超純水制造設(shè)備流向清洗裝置； 處理單元，其設(shè)置于所述第一流通管上，對(duì)所述超純水進(jìn)行處理； 第二流通管，其在所述超純水制造設(shè)備與所述處理單元之間從所述第一流通管分支出來(lái)，使超純水流向所述清洗裝置； 第一水量控制部，其設(shè)置于所述第二流通管從所述第一流通管分支的第一分支部； 第二水量控制部，其對(duì)從所述第二流通管流向所述清洗裝置的超純水進(jìn)行控制； 比較部，其比較第一量與第二量，所述第一量是由所述處理單元處理后的超純水中含有的雜質(zhì)的量，所述第二量是未被所述處理單元處理的超純水中含有的雜質(zhì)的量；以及 流路控制部，其根據(jù)所述比較部的比較結(jié)果，來(lái)控制所述第一水量控制部和所述第二水量控制部。

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