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龍圖騰網獲悉蘇州源展材料科技有限公司申請的專利一種ALD源分裝鋼瓶的檢漏裝置及方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115452276B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202211034581.1，技術領域涉及：G01M3/32；該發(fā)明授權一種ALD源分裝鋼瓶的檢漏裝置及方法是由任大平設計研發(fā)完成，并于2022-08-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種ALD源分裝鋼瓶的檢漏裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種ALD源分裝鋼瓶的檢漏裝置，該裝置包括傳遞倉，傳遞倉通過冷阱和真空泵相連接，傳遞倉內部設置有稱重裝置，分裝鋼瓶置于稱重裝置上，分裝鋼瓶內部存儲有ALD源，傳遞倉的外壁上包覆有加熱元件，傳遞倉上還連接有壓力表。本發(fā)明還公開了一種ALD源分裝鋼瓶的檢漏方法。本發(fā)明可以對裝有ALD源的鋼瓶的泄漏率進行有效檢測，操作安全、便捷，大大降低了ALD源的分裝鋼瓶存在泄露而造成安全風險的可能性。

本發(fā)明授權一種ALD源分裝鋼瓶的檢漏裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種ALD源分裝鋼瓶的檢漏方法，其特征在于：利用ALD源分裝鋼瓶的檢漏裝置，其包括傳遞倉，所述傳遞倉通過冷阱和真空泵相連接，所述傳遞倉內部設置有稱重裝置，分裝鋼瓶置于所述稱重裝置上，所述分裝鋼瓶內部存儲有ALD源，所述傳遞倉的外壁上包覆有加熱元件，所述傳遞倉上還連接有壓力表，所述傳遞倉上設置左側倉門和右側倉門，所述左側倉門打開就是手套箱的箱體，所述傳遞倉不做檢漏時，充當正常傳遞倉的無水無氧操作置換作用；所述方法包括以下步驟： S1）將裝有ALD源的分裝鋼瓶置于傳遞倉內部的稱重裝置上，并向冷阱中加入液氮； S2利用加熱元件對傳遞倉進行加熱，直至傳遞倉內部溫度達到ALD源的極限真空沸點； S3定義所述極限真空沸點所對應的真空度為M1,傳遞倉內的預設真空度為M2;其中，； 開啟冷阱并利用真空泵對傳遞倉進行抽真空處理，直至壓力表檢顯示傳遞倉內的實際真空度達到M2，從而使得傳遞倉達到檢測狀態(tài)； S4使得傳遞倉維持在檢測狀態(tài)至設定時間，若稱重裝置所稱得的分裝鋼瓶的稱重重量降低，則表示分裝鋼瓶存在泄漏現象，否則，表示不存在泄漏現象； 步驟S1之前還包括ALD源的分裝過程為：先把空鋼瓶通過傳遞倉真空置換送入手套箱；然后將ALD源灌裝進入鋼瓶內，灌裝完成后，完成鋼瓶密封，再放入傳遞倉，進行鋼瓶檢漏工作。

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