東莞市科盛機電設備有限公司;深圳市科和盛業技術有限公司李細柳獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東莞市科盛機電設備有限公司;深圳市科和盛業技術有限公司申請的專利多弧及磁控復合濺射陰極獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116121719B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211446181.1，技術領域涉及：C23C14/35；該發明授權多弧及磁控復合濺射陰極是由李細柳;楊江設計研發完成，并于2022-11-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本多弧及磁控復合濺射陰極在說明書摘要公布了：本發明公開了本發明優選實施例中公開了多弧及磁控復合濺射陰極，包括安裝架、升降裝置、陰極磁板和靶面板；所述升降裝置包括安裝板、聯軸器、升降軸和升降頭；所述安裝板設置在所述安裝架的底部；所述聯軸器設置在所述安裝板的底部；所述升降軸與所述聯軸器傳動連接；所述升降頭螺紋傳動設置在所述升降軸的頂部；所述陰極磁板活動設置在所述安裝架的頂部，并且所述陰極磁板安裝在所述升降頭的頂部；所述靶面板架設在所述安裝架的頂部，并且所述靶面板位于所述陰極磁板的上方。本發明通過調節陰極磁鐵到靶面的距離，可以在一個陰極靶上實現多弧濺射及磁控濺射的工藝。
本發明授權多弧及磁控復合濺射陰極在權利要求書中公布了：1.多弧及磁控復合濺射陰極，其特征在于，包括： 安裝架； 升降裝置；所述升降裝置包括安裝板、聯軸器、升降軸和升降頭；所述安裝板設置在所述安裝架的底部；所述聯軸器設置在所述安裝板的底部；所述升降軸與所述聯軸器傳動連接；所述升降頭螺紋傳動設置在所述升降軸的頂部； 陰極磁板；所述陰極磁板活動設置在所述安裝架的頂部，并且所述陰極磁板安裝在所述升降頭的頂部； 靶面板；所述靶面板架設在所述安裝架的頂部，并且所述靶面板位于所述陰極磁板的上方。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東莞市科盛機電設備有限公司;深圳市科和盛業技術有限公司，其通訊地址為：523000 廣東省東莞市長安鎮長安新民路189號8號樓103室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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