美科陶瓷科技有限公司金澤坤獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉美科陶瓷科技有限公司申請的專利陶瓷基座獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117954300B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202311402886.8,技術領域涉及:H01J37/32;該發明授權陶瓷基座是由金澤坤設計研發完成,并于2023-10-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本陶瓷基座在說明書摘要公布了:本發明提供一種陶瓷基座,本發明的實施例的陶瓷基座,其包括配置有高頻電極的陶瓷板,所述陶瓷板包括與所述高頻電極連接的連接器,包括一側端部與所述連接器連接,并用于向所述高頻電極供電的電極桿,所述電極桿將Mo、W或其合金作為母材,在所述母材的表面包括AlCrN膜。
本發明授權陶瓷基座在權利要求書中公布了:1.一種陶瓷基座,包括配置有由導電材料構成的高頻電極的陶瓷板,其中, 所述陶瓷板包括與所述高頻電極電連接的連接器, 包括一側端部與所述連接器電連接,并用于向所述高頻電極供電的電極桿, 所述電極桿將為順磁體的Mo、W或含有Mo、W中的一種以上的合金作為母材, 在所述電極桿的表面包括AlCrN膜。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人美科陶瓷科技有限公司,其通訊地址為:韓國京畿道;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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