寧波江豐電子材料股份有限公司姚力軍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉寧波江豐電子材料股份有限公司申請的專利一種鎢硅合金靶材的鍍鎳方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN118186382B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202410308157.4,技術領域涉及:C23C18/32;該發明授權一種鎢硅合金靶材的鍍鎳方法是由姚力軍;潘杰;侯宇;劉寬炳設計研發完成,并于2024-03-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種鎢硅合金靶材的鍍鎳方法在說明書摘要公布了:本發明涉及一種鎢硅合金靶材的鍍鎳方法,所述鍍鎳方法包括以下步驟:1將鎢硅合金靶材依次進行第一清洗處理、活化處理、第一浸泡熱處理和第二浸泡熱處理,得到預處理后的靶材;2將步驟1得到的所述預處理后的靶材浸泡在鍍鎳液中進行鍍鎳處理,然后依次進行第三浸泡熱處理、第四浸泡熱處理和干燥處理,得到鍍鎳后的靶材。本發明提供的鍍鎳方法能夠在鎢硅合金表面形成鍍鎳層,從而提升鎢硅合金靶材和背板的結合強度,同時能夠避免鎢硅合金靶材在加工過程中的開裂問題。
本發明授權一種鎢硅合金靶材的鍍鎳方法在權利要求書中公布了:1.一種鎢硅合金靶材的鍍鎳方法,其特征在于,所述鍍鎳方法包括以下步驟: 1將鎢硅合金靶材依次進行第一清洗處理、活化處理、第一浸泡熱處理和第二浸泡熱處理,得到預處理后的靶材; 所述活化處理包括采用酸液對靶材進行浸泡; 所述酸液包括含有氫氟酸和硝酸的混酸溶液; 所述混酸溶液中氫氟酸、硝酸和水的質量比為0.5-1.5:1.5-2.5:2.5-3.5; 所述第一浸泡熱處理包括將靶材在純水中浸泡;所述第一浸泡熱處理的水溫為45-55℃; 所述第二浸泡熱處理包括將靶材在純水中浸泡;所述第二浸泡熱處理的水溫為65-75℃; 2將步驟1得到的所述預處理后的靶材浸泡在鍍鎳液中進行鍍鎳處理,然后依次進行第三浸泡熱處理、第四浸泡熱處理和干燥處理,得到鍍鎳后的靶材; 所述第三浸泡熱處理包括將靶材在純水中浸泡;所述第三浸泡熱處理的水溫為65-75℃; 所述第四浸泡熱處理包括將靶材在純水中浸泡;所述第四浸泡熱處理的水溫為55-65℃。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人寧波江豐電子材料股份有限公司,其通訊地址為:315400 浙江省寧波市余姚市經濟開發區名邦科技工業園區安山路;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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