蘇州格羅德集成電路有限公司沙建德獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州格羅德集成電路有限公司申請的專利一種晶圓蝕刻清洗結構獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223260555U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422197108.6，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型一種晶圓蝕刻清洗結構是由沙建德;邱小磊;邵國艷設計研發完成，并于2024-09-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓蝕刻清洗結構在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種晶圓蝕刻清洗結構，包括外殼以及外殼內底面，外殼與外殼內底面之間固定連接，外殼頂端安裝有頂板，外殼內底面頂端固定連接安裝有傳送裝置，外殼開設有兩相對通口，外殼通口處轉動連接有入籃板和出籃板，晶圓放入至晶圓籃內，傳送裝置將晶圓籃從入籃板位置移動至出籃板處，傳送裝置中間位置安裝有清潔倉，外殼側壁上端位置固定連接有排氣管，外殼的通口設計于外殼中下位置處開口，入籃板和出籃板安裝于開口處，廢氣管安裝在頂端位置，使清潔溶液揮發的有害氣體從上端廢氣管內排出，減少溶液對工作環境造成的污染。
本實用新型一種晶圓蝕刻清洗結構在權利要求書中公布了：1.一種晶圓蝕刻清洗結構，包括外殼1，其特征在于：所述外殼內底面頂端固定連接有傳送裝置，所述外殼1相對的兩側壁各開設有一個通口，兩所述外殼1通口處分別鉸鏈連接有入籃板11和出籃板12，所述傳送裝置頂端滑動連接有晶圓籃5，所述晶圓籃5內放置有若干晶圓，所述傳送裝置將晶圓籃5從入籃板11位置移動至出籃板12處，所述傳送裝置中間位置安裝有清潔倉4，所述外殼1側壁上端位置固定連接有排氣管13，所述排氣管13內安裝有吸氣泵，所述排氣管13內吸氣泵的抽出氣體速度大于溶液有機廢氣溢出的速率。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州格羅德集成電路有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市工業園區金雞湖大道1355號國際科技園三期5C；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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