華海清科股份有限公司馬鈺皓獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉華海清科股份有限公司申請的專利一種晶圓清洗裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223260557U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422436121.2，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型一種晶圓清洗裝置是由馬鈺皓;曹自立;李燈;李長坤設計研發完成，并于2024-10-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓清洗裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種晶圓清洗裝置，所述清洗裝置包括量測組件，測量基準晶圓的初始測量參數和實際測量參數；基準組件，測量初始測距參數，當基準晶圓下入從動輪凹槽中滿足測距條件時，測量基準晶圓的實際測距參數；調節組件，根據實際插入量調整驅動支撐結構的相對位置使實際插入量滿足預設閾值；驅動支撐結構，豎向支撐并帶動晶圓轉動；清洗刷，刷洗晶圓的正、反面。本實用新型可以準確的測量到晶圓下入到從動輪凹槽的深度，通過獲取基準晶圓的插入深度，根據插入量的預設閾值，調整從動輪的位置，使與基準晶圓同類型的待清洗晶圓能夠恰好插入從動輪的凹槽中，且不影響轉速，保障晶圓的清洗效果。
本實用新型一種晶圓清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓清洗裝置，其特征在于，包括： 量測組件，用于測量基準晶圓的初始測量參數F1和實際測量參數F2； 基準組件，在基準晶圓保持基準狀態時，測量初始測距參數；當基準晶圓下入從動輪凹槽中滿足測距條件時，測量基準晶圓的實際測距參數； 調節組件，根據實際插入量調整驅動支撐結構的相對位置，使實際插入量滿足預設閾值； 驅動支撐結構，豎向支撐并帶動待清洗晶圓轉動； 清洗刷，刷洗待清洗晶圓的正、反面。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華海清科股份有限公司，其通訊地址為：300350 天津市津南區咸水沽鎮聚興道11號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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